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中芯国际HF、HCl、CL2、NH3在线监测

返回列表 来源：发布日期：2018-12-20

项目类型：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司污染源在线监测系统
应用场景：采用了OPSIS SYSTEM 400拖带监测的方案，实现套系统拖带监测多条烟囱废气的功能
监测项目：HF、HCl、CL2、 NH3
系统结构图：

采用一套OPSIS SYSTEM 400在线监测系统，使用AR600紫外差分吸收光谱分析仪一台，搭配MX012多路器实现单台分析仪连续循环测量多条烟囱的功能，该系统对#1~#3烟囱的NH3碱性气体进行一拖三的在线监测。由于R型光纤的长度有一定的限制，距离站房较远的#3烟囱使用快速循环回路（FastLoop）进行监测。

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